Das „SP-205ASC“ wurde speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt, um das Auftreten von besonderen Gasen, wie gasförmige Hydride, in sehr empfindlichen Bereichen als Leckage zu messen.
Das „SP-205ASC“ wurde speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt, um das Auftreten von besonderen Gasen, wie gasförmige Hydride, in sehr empfindlichen Bereichen als Leckage zu messen.